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50X干涉物鏡使用說明：

主要用于非接觸光學壓型測量設(shè)備，通過分析樣品表面反射光的干涉圖案，獲取表面位圖及測量參數(shù)，測量精度可達波長級別。以下是具體使用說明：

測量原理

光束通過分光鏡分成兩路：一路直接照射樣品表面，另一路反射至內(nèi)置反光鏡。兩路光在樣品表面反射后重新結(jié)合，形成干涉圖案。與Mirau鏡頭相比，Michelson鏡頭具有更長工作距離、更寬視場和更大焦深，適合大范圍測量；Mirau鏡頭則適用于高倍率或需大數(shù)值孔徑的場景

干涉物鏡
	2.5x	5x	10x	20x	50x	100x
工作距離（mm）	10.3	9.3	7.4	4.7	3.4	2.0
NA（數(shù)值孔徑）	0.055	0.15	0.30	0.45	0.55	0.7
FOV（mm）1	5093×3818	2546×1909	1270×950	637×477	254×190	127×95
空間采樣（mm）2	6.64	3.32	1.62	0.83	0.33	0.17
光學分辨率藍光（L&S）（mm）3	2.55	0.93	0.46	0.31	0.25	0.20
光學分辨率白光（L&S）（mm）3	3.04	1.11	0.56	0.37	0.30	0.24
大坡度4	3.05o	8.6o	14o	21o	25o	42o
垂直分辨率（nm）PSI7垂直分辨率（nm）ePSI7	<0.1nm（PZT 0.01nm）
垂直分辨率（nm）VSI7	1nm5mm
垂直范圍PSI(mm)	5mm
垂直范圍ePSI(mm)	100mm
垂直范圍VSI(mm)	10mm
掃描速率（mm/s）	PSI：3-15mm/s VSI/ePSI：4-18mm/s
一般測量時間（s）9	PSI：3s VSI：10s ePSI：30s

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